CPUから周辺チップへのアクセスを極力減らし、高速処理を実現するためにCPU内部に設けられたキャッシュメモリ。演算に用いるデータやプログラムコードを格納しておき、CPU内部だけで高速処理を行なえるようにする。キャッシュサイズが大きければそれだけキャッシュのヒット率は上がりやすいが、同一プロセスでは内部キャッシュを増加するだけダイサイズが大きくなり、製造コストを押し上げる。IntelDXシリーズではコード／データ共用で8Kbytes、Pentiumプロセッサではコード／データそれぞれに8Kbytesずつの内部キャッシュが搭載されている。